3月1日,“北京市科學(xué)技術(shù)獎勵大會暨2019年全國科技創(chuàng)新中心建設(shè)工作會議”在北京會議中心召開,市委書記蔡奇,市委副書記、市長陳吉寧參加會議。會上市領(lǐng)導(dǎo)為2018年度北京市科學(xué)技術(shù)獎獲獎單位頒獎,對科技工作者為首都科技事業(yè)發(fā)展作出的貢獻(xiàn)致以崇高敬意和熱烈祝賀。
由京儀集團(tuán)推薦申報的京儀裝備公司“半導(dǎo)體生產(chǎn)線專用溫控系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)及應(yīng)用” 項目榮獲三等獎。半導(dǎo)體專用溫控裝置(Chiller)為京儀裝備自主研發(fā)產(chǎn)品,由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成一個自我平衡的循環(huán)裝置,主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制,產(chǎn)品性能處于國際領(lǐng)先水平。
京儀裝備技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊秉承工匠精神,堅持自主創(chuàng)新、精益求精,成功打破了國外壟斷,為推進(jìn)我國半導(dǎo)體事業(yè)發(fā)展、增強(qiáng)北京在全球科技競爭中的影響力貢獻(xiàn)了一份力量。














